在SF6氣體抽真空裝置壓縮機的工藝管上連接干燥過濾器和單表三通低壓閥A，簡稱表閥A。在冷凝器末端的干燥過濾器的工藝管上連接一個單表三通高壓閥B。如果原制冷系統干燥過濾器為單孔無工藝管的，可在原干燥過濾器進氣端加裝焊一根針閥工藝管接頭。當制冷維修工藝流程中的檢漏、試壓工序完畢后，進行抽真空。從表閥A 放出試壓用的氮氣，當表閥B的壓力降至0.3MPa時，應關閉放氣閥停止放氣，啟動壓縮機，待表閥B的壓力上升至1～1.5 MPa，表閥A的壓力在0～0.1MPa之間，與制冷正常工作時的壓力接近，將多余的氣體從表閥B放出。如果檢修前制冷系統管路已拆開，并長期暴露在空氣中，則有必要延長壓縮機的運行時間，利用其本身的熱量將潮氣排出；如果壓縮機是新換的，沒有經高溫干燥處理過，則預熱處理需反復多次，否則容易造成冰堵。如果檢漏試壓前，系統管路中還有剩余的制冷劑，抽壓縮機不需專門預熱處理，但必須用火焰在所有干燥過濾器的兩個濾網之間進行初次快速干燥處理。干燥處理加熱的溫度大致控制在300℃左右，也就是讓被加熱的銅管表面無氧化層，或有微簿的氧化層，但擦去時會變為細粉狀。壓縮機和干燥過濾器經過快速干燥表閥處理后，打開高壓閥B放出氮氣，待表壓由1 MPa以上逐漸降為0時，而表閥A的壓力則慢慢降為負壓，應暫時關閉表閥B，等表閥B的壓力大于0時，再放出系統內氣體。反復幾次后，再將干燥過濾器快速干燥一次，再從表閥B排出系統內氣體直至高壓表閥B的壓力不再高于零，或者在閥門打開時用手指堵在排氣口上，無排氣感覺；手指快速堵放排氣口，表針無微微擺動現象。此時高壓側內部壓力同外界氣壓平衡，還沒達到制冷抽真空的要求，尚有少量殘余氣體。因此只有通過從低壓工藝管充入氣源，才能排出高壓側的殘余氣體。將低壓表閥A接上氟瓶，排出軟管中的空氣，打開氟瓶閥，微開低壓表閥A將低壓側的壓力控制在0.1 MPa左右，待高壓表閥B的壓力上升到大于零時，打開高壓表閥B放出系統中的余氣，放氣時間約為1～5秒鐘，關上閥門，全部抽空工藝結束。接著進行充氟達標，焊封干燥過濾器的工藝管（非針閥式）。在停機幾分鐘后，待高、低壓剛平衡（此時干燥過濾器的工藝管壓力）時進行高壓工藝管封口。再重開機，在運行狀態焊封低壓工藝管，最后檢漏觀察運行是否正常。全封閉壓縮機制冷系統自身抽真空的實質是利用壓縮機抽空制冷管路低壓側，再向低壓側管路充氟排空高壓側管路中的殘留空氣。
SF6抽真空裝置操作注意事項：1、抽空和充氟工序中壓縮機應一直為運行狀態。2、排氣過程中，當表閥A為負壓后，表閥B排氣壓力為零時，應快速關閉表閥B，或用手指堵在排氣口上繼續排氣，但放開氣口時間不能太久，要防止外面的空氣倒流。如果排氣口用透明軟管連接，另一頭插入冷凍機油瓶中，利用氣泡觀察排氣情況，看5分鐘不冒氣泡為標準；但須防止油被吸入排氣管。禁止用水來觀察排氣。因為此時停機，可以明顯看到兩個表均為負壓，具有一定程度的真空度。
如果將此抽空工藝稱為：壓縮機+充氟抽空法；那么還有壓縮機+真空泵抽空法；壓縮機+壓縮機抽空法。這些單側抽空方法的抽空時間大約需要1～2小時，若采用高低壓雙側同時進行抽空則只需要20分鐘左右。
方法三：另外根據大中型制冷設備壓縮機帶有高低壓閥直接方便抽真空，可以在小型制冷設備全封閉壓縮機的高壓排氣管至冷凝器之間添加一個最小規格的壓縮機截止閥，使全封閉壓縮機制冷系統也具備直接抽真空的功能。SF6氣體抽真空裝置具體方法是：購買一個三孔（四孔）的小規格壓縮機截止閥和帶納子接頭的束接頭（尺寸大小應與截止閥通往壓縮機的出氣孔內徑相符），將截止閥通往壓縮機的出氣孔攻絲使其與束接頭的一端相連接，但擰入束接頭時應注意不要擋住截止閥閥桿的移動；如無合適的絲錐也可直接進行焊接。然后按照下圖所示連接即可。
